◎系所教育目標：
本系所之發展方向以光電科學與固態電子(半導體科學)為主，在紮實的學術研究基礎下，並與產業界積極合作，發展前瞻性學術研究及技術開發。
本系研究團隊分成兩大主軸，彼此相互連結，兩大主軸分別為：
(一)光電科學：太陽能電池、液晶光學、非線性光學、光學薄膜、光學設計、光電元件、光纖光學、雷射光學、生醫光電。
(二)固態電子(半導體科學)：量子元件、表面及介面科學、磁性薄膜、奈米電子、自旋電子學、半導體薄膜、半導體奈米製程或元件模擬、薄膜電晶體製程與技術。 |
| ◎核心能力 | 關聯性 |
| 1.培養應用物理知能 | 5 關聯性最強 |
| 2.培養應用光電科學知能 | 3 關聯性中等 |
| 3.培養應用固態電子(半導體科學)知能 | 5 關聯性最強 |
| 4.培養應用實驗技能 | 5 關聯性最強 |
◎本學科內容概述：
本課程提供真空設備及其應用相關技術的知識。 |
◎本學科教學內容大綱：
1.真空簡介
2.真空幫浦
3.真空計
4.真空材料與元件
5.UHV系統
6.UHV應用 |
◎本學科學習目標：
認知領域目標：
1. 能清楚陳述真空定義以及相關儀器設備原理。
2. 能區別不同真空度以及其使用設備。
技能領域目標：
3. 能使用所學的理論進行相關實驗應用。
4. 能使用所學的理論設計真空系統。
情意領域目標：
5. 能提升對真空科學學習的興趣。
6. 能展現出積極以及踏實的學習態度。 |
| ◎教學進度： |
| 週次 | 主題 | 教學內容 | 教學方法 |
01
09/18 | 課程介紹 | 課程介紹 | 講授。 |
02
09/25 | 真空定義與分類 | 真空定義與分類 | 講授、討論。 |
03
10/02 | 真空幫浦 | 機械邦浦 | 口頭報告、講授、討論。 |
04
10/09 | 國慶日 | 放假 | 放假。 |
05
10/16 | 真空幫浦 | 渦輪分子邦浦 | 口頭報告、講授、討論。 |
06
10/23 | 真空幫浦 | 離子邦浦 | 口頭報告、講授、討論。 |
07
10/30 | 真空幫浦 | 鈦昇華邦浦(TSP) | 口頭報告、講授、討論。 |
08
11/06 | 真空計 | 傳統真空計 | 口頭報告、講授、討論。 |
09
11/13 | 期中考 | 期中考 | exam。 |
10
11/20 | 真空計 | 離子真空計 | 口頭報告、講授、討論。 |
11
11/27 | 真空計 | 殘留氣體分析儀(RGA) | 口頭報告、講授、討論。 |
12
12/04 | 真空材料與元件 | 真空材料與元件 | 口頭報告、講授、討論。 |
13
12/11 | 超高真空系統 | 超高真空系統 | 口頭報告、講授、討論。 |
14
12/18 | 超高真空實驗 | 超高真空實驗技術 | 口頭報告、講授、討論。 |
15
12/25 | 超高真空鍍膜 | 超高真空鍍膜 | 口頭報告、講授、討論。 |
16
01/01 | 開國紀念日 | 開國紀念日 | 放假。 |
17
01/08 | UHV應用 | UHV應用 | 口頭報告、講授、討論。 |
18
01/15 | 期末考 | 期末考 | 期末報告。 |
◎課程要求：
課前預習、認真聽講、參與討論、實作練習。 |
◎成績考核
期中考30% : 筆試
期末考20% : 期末報告ppt、口語表達、書面報告
書面報告25% : 主題報告ppt
口頭報告25% : 主題報告口語表達
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◎參考書目與學習資源
實用真空技術-呂登復 編著
真空技術與應用-行政院國家科學委員會 精密儀器發展中心 |
| ◎教材講義 請改以帳號登入校務系統選擇全校課程查詢方能查看教材講義 |