國立嘉義大學101學年度第2學期教學大綱

課程代碼101224A0011上課學制研究所碩士班
課程名稱奈米顯微與微影技術 Nanomicroscopy and Nanolithography授課教師 (師資來源)洪一弘(電子物理學系)
學分(時數)3.0 (3.0)上課班級電物光電碩1年甲班
先修科目必選修別選修
上課地點電物二館 A18B-205 授課語言國語
證照關係晤談時間星期2第6節~第8節, 地點:A18B-106 星期3第3節~第4節, 地點:A18B-106
課程大網網址https://web085004.adm.ncyu.edu.tw/Syllabus/Syllabus_Rpt.aspx?CrsCode=101224A0011
備 註

◎系所教育目標:
本系所之發展方向以光電科學與固態電子為主,在紮實的學術研究基礎下,並與產業界積極合作,發展前瞻性學術研究及技術開發。
  本系研究團隊分成兩大主軸,彼此相互連結,兩大主軸分別為:
(一)光電科學:太陽能電池、液晶光學、非線性光學、光學薄膜、光學設計、光電元件、光纖光學、雷射光學、生醫光電。
(二)固態電子:量子元件、表面及介面科學、磁性薄膜、奈米電子、自旋電子學、半導體薄膜、半導體奈米製程或元件模擬、TFT製程或設計。
◎核心能力關聯性
1.培養應用物理知能5 關聯性最強
2.培養光電科學知能4 關聯性稍強
3.培養固態電子知能5 關聯性最強
4.培養實驗技能5 關聯性最強
◎本學科學習目標:
1.充實學生之物理專業及相關學科知能
2.培育學生具備與物理相關學門之互助與互動
3.引導學生進入光電及固態電子相關領域
4.訓練並引導學生從事實驗等科技實務技能
5.啟發學生之創造與獨立思考能力
◎教學進度:
週次主題教學內容教學方法
01
02/21
IntroductionExplain the Syllabus講授。
02
02/28
VacationVacation國定假日。
03
03/07
Ch. 1 Scanning Tunneling Microscopy (STM)1.1 Introduction
1.2 Principle of STM
1.3 Quantum tunneling effect
講授。
04
03/14
Ch. 1 Scanning Tunneling Microscopy (STM)1.4 Characterization of STM
1.5 Instrumentation design of STM
講授。
05
03/21
Ch. 1 Scanning Tunneling Microscopy (STM)1.6 Operation modes of STM
1.7 Applications of STM
1.8 Novel development of STM
講授。
06
03/28
Ch. 1 Scanning Tunneling Microscopy (STM)2.1 Introduction
2.2 Principle of AFM
2.3 Beam deflection detection
講授。
07
04/04
Ch. 2 Atomic Force Microscopy (AFM)2.4 Instrumentation design of AFM
2.5 Characterization of AFM
講授。
08
04/11
Ch. 2 Atomic Force Microscopy (AFM)2.6 Operation modes of AFM
2.7 Origin of Atomic force
2.8 Applications of AFM
講授。
09
04/18
Ch. 2 Atomic Force Microscopy (AFM)2.9 Novel development of AFM: MFM, EFM, CFM講授。
10
04/25
1st Mid-Term ExaminationExamination of Ch. 1 & 2第一次期中考。
11
05/02
Ch. 3 Top-down Lithography3.1 Photolithography
3.2 E-beam lithography
講授。
12
05/09
Ch. 3 Top-Down Lithography3.3 Ion-beam lithography
3.4 Soft lithography
講授。
13
05/16
Ch. 4 Bottom-Up Lithography4.1 Scanning Probe lithography講授。
14
05/23
2nd Mid-Term ExaminationExamination of Ch. 3 & 4第二次期中考。
15
05/30
Paper SeminarStudent Oral口頭報告、討論。
16
06/06
Paper SeminarStudent Oral口頭報告、討論。
17
06/13
Paper SeminarStudent Oral口頭報告、討論。
18
06/20
Final ExaminationOperation Examination操作/實作、操作考。
◎課程要求:
建議預修課程:量子物理、力學、電磁學
◎成績考核
課堂參與討論10%
期中考40%
口頭報告20%
操作/實作30%

補充說明:教材為自編的POWER POINT講義
◎參考書目與學習資源
參考用書:
Surface Analysis: The Principal Techniques, Vickerman Gilmore, Wiley (高立圖書)
1.請尊重智慧財產權、使用正版教科書並禁止非法影印。
2.請重視性別平等教育之重要性,在各項學生集會場合、輔導及教學過程中,隨時向學生宣導正確的性別平 等觀念及尊重多元性別,並關心班上學生感情及生活事項,隨時予以適當的輔導,建立學生正確的性別平等意識。