| 課程代碼 | 10012420013 | 上課學制 | 研究所碩士班 |
| 課程名稱 | 電子束顯微與微影
Electron-beam Microscopy and Nanolithography | 授課教師 (師資來源) | 林立弘(電子物理學系) |
| 學分(時數) | 3.0 (3.0) | 上課班級 | 電物系碩班1年甲班 |
| 先修科目 | | 必選修別 | 選修 |
| 上課地點 | 電物二館 A18B-205 | 授課語言 | 國語 |
| 證照關係 | 國內尚無相關證照; 日本有電子顯微鏡協會授課並測驗發給證照, 以利學生作為能力證明
http://www.kore-dayo.com/denken3de.html | 晤談時間 | 星期2第5節~第6節, 地點:A18B-201, A18B-108
星期4第1節~第1節, 地點:A18B-201, A18B-108
星期4第7節~第7節, 地點:A18B-201, A18B-108
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| 課程大網網址 | https://web085004.adm.ncyu.edu.tw/Syllabus/Syllabus_Rpt.aspx?CrsCode=10012420013 |
| 備 註 | 課後另外安排時間上機練習SEM及NPGS，視學習狀況評分並給予使用權限. 該課程可以旁聽及上機，但限制總人數在25人以下. |
◎系所教育目標：
本系所之發展方向以光電科學與固態電子為主，在紮實的學術研究基礎下，並與產業界積極合作，發展前瞻性學術研究及技術開發。
本系研究團隊分成三大主軸，彼此相互連結，三大主軸分別為：
(一)光電科學：液晶光學、非線性光學、光學薄膜、光學設計、光電元件、光纖光學、雷射物
理、太陽能電池。
(二)固態物理：量子元件、表面及介面物理、磁性薄膜、奈米物理、自旋電子學。
(三)半導體：半導體薄膜、半導體奈米製程或元件模擬、TFT製程或設計。 |
| ◎核心能力 | 關聯性 |
| 1.培養應用物理知能 | 5 關聯性最強 |
| 2.培養光電科學知能 | 4 關聯性稍強 |
| 3.培養固態電子知能 | 4 關聯性稍強 |
| 4.培養實驗技能 | 5 關聯性最強 |
◎本學科內容概述：
theory, discussion, oral presentation and practice
理論講解、報告、討論與實機操作觀摩並重 |
◎本學科學習目標：
learning the basic knowledge about scanning electron microscopes，
and also the operation of Hitachi S3000H as well as NPGS system.
(熟悉電子束顯微鏡的理論與實際操作， 並以日立S3000H取得影像及製作微結構) |
| ◎教學進度： |
| 週次 | 主題 | 教學內容 | 教學方法 |
01
| SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告) | SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告)
幾何光學成像的復習 | 講授、討論、報告。 |
02
| SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告) | SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告)
幾何光學成像的復習 | 講授、討論、報告。 |
03
| SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告) | SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告)
幾何光學成像的復習 | 講授、討論、報告。 |
04
| SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告) | SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告)
SEM儀器原理簡介 | 講授、討論、報告。 |
05
| SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告) | SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告)
SEM儀器原理簡介 | 講授、討論、報告。 |
06
| SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告) | SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告)
SEM儀器原理簡介 | 講授、討論、報告。 |
07
| practice
實機示範觀摩 | practice
實機示範觀摩 | 講授、示範、習作、實習。 |
08
| SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告) | SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告)
SEM操作手冊研讀 | 講授、討論、報告。 |
09
| SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告) | SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告)
SEM操作手冊研讀 | 講授、討論、報告。 |
10
| mid-exam (written) (期中筆試)
11月15日 | mid-exam (written) (期中筆試)
筆試題目請上教學輔助平臺查閱 | mid-exam (written) (期中筆試)。 |
11
| SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告) | SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告)
微影簡介 | 講授、討論、報告。 |
12
| SEM，lectures & reports (SEM講解，輪流報告) | NPGS，lectures & reports (NPGS講解，輪流報告) | 講授、討論、報告。 |
13
| practice
實機示範觀摩 | practice
實機示範觀摩 | 講授、示範、習作、實習。 |
14
| practice
實機示範觀摩 | practice
實機示範觀摩 | 講授、示範、習作、實習。 |
15
| practice
實機示範觀摩 | practice
實機示範觀摩 | 講授、示範、習作、實習。 |
16
| practice
實機示範觀摩 | practice
實機示範觀摩 | 講授、示範、習作、實習。 |
17
| practice
實機示範觀摩 | practice
實機示範觀摩 | 講授、示範、習作、實習。 |
18
| 期末測驗 | 期末測驗
final exam | final exam。 |
◎課程要求：
(Space) |
◎成績考核
課堂參與討論20%
期中考20%
期末考20%
口頭報告20%
操作/實作20%
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◎參考書目與學習資源
text
(授課書籍)
manual of Hitachi S-3000H，PDF file
manual of NPGS，PDF file
(顯微鏡使用手冊電子檔，微影系統使用手冊電子檔)
reference books
(參考書籍)
scanning electron microscopy and x-ray microanalysis，3/e，Joseph Goldstein，Springer
semiconductor devices - physics & technology，2/e，Simon M. Sze，Wiley
交大出版社，黃調元譯:半導體元件物理與製作技術，第12章
行政院國科會精儀中心，陳力俊等:材料電子顯微鏡學
行政院國科會精儀中心:真空技術與應用
五南，龍文安:半導體微影技術 |