國立嘉義大學100學年度第1學期教學大綱

課程代碼10012420012上課學制研究所碩士班
課程名稱薄膜科學與技術 Thin Film Science and Technology授課教師 (師資來源)余昌峰(電子物理學系);陳思翰(電機系)
學分(時數)3.0 (3.0)上課班級電物系碩班1年甲班
先修科目必選修別選修
上課地點電物二館 A18B-501 授課語言國語
證照關係晤談時間余昌峰: 星期1第5節~第6節, 地點:A18B401 星期2第5節~第6節, 地點:A18B401 陳思翰: 星期1第3節~第4節, 地點:應物二館412
課程大網網址https://web085004.adm.ncyu.edu.tw/Syllabus/Syllabus_Rpt.aspx?CrsCode=10012420012
備 註

◎系所教育目標:
本系所之發展方向以光電科學與固態電子為主,在紮實的學術研究基礎下,並與產業界積極合作,發展前瞻性學術研究及技術開發。
  本系研究團隊分成三大主軸,彼此相互連結,三大主軸分別為:
(一)光電科學:液晶光學、非線性光學、光學薄膜、光學設計、光電元件、光纖光學、雷射物
  理、太陽能電池。
(二)固態物理:量子元件、表面及介面物理、磁性薄膜、奈米物理、自旋電子學。
(三)半導體:半導體薄膜、半導體奈米製程或元件模擬、TFT製程或設計。
◎核心能力關聯性
1.培養應用物理知能5 關聯性最強
2.培養光電科學知能3 關聯性中等
3.培養固態電子知能3 關聯性中等
4.培養實驗技能5 關聯性最強
◎本學科內容概述:
1.一方面以生動之powerpoint圖片展示相關鍍膜原理外;另一方面配合系上既有之機台,讓學生有實機操作的機會,以增進學生之學習效率。
2.每位上課學生每周至少閱讀一篇相關領域之論文,並上台報告至少20分鐘。此方式不僅可增進學生知閱讀能力,亦可達到訓練其表達能力之目的。
◎本學科學習目標:
以深入淺出的方式,讓學生了解各種鍍膜技術之原理及其相關應用之最新發展情形。
◎教學進度:
週次主題教學內容教學方法
01
真空技術
Vacuum Science and Technology
(余昌峰老師)
幫浦與真空計
Pumps and Gauges
講授、示範。
02
真空技術
Vacuum Science and Technology
(余昌峰老師)
氣體動力與壓力控制
Gas Kinetics and Presuress Control
講授、示範。
03
物理氣相沉積
Physival Vapor Deposition
(余昌峰老師)
熱蒸鍍
Evaporation
講授、示範。
04
物理氣相沉積
Physival Vapor Deposition
(余昌峰老師)
濺鍍
Sputter Deposition
講授、示範。
05
物理氣相沉積
Physival Vapor Deposition
(余昌峰老師)
分子磊晶
MBE
講授、示範。
06
化學氣相沉積
Chemical Vapor Deposition
(余昌峰老師)
常壓化學氣相沉積
Atmosphere Pressure CVD
講授、示範。
07
化學氣相沉積
Chemical Vapor Deposition
(余昌峰老師)
低壓化學氣相沉積
Low Pressure CVD
講授、示範。
08
化學氣相沉積
Chemical Vapor Deposition
(余昌峰老師)
電漿化學氣相沉積
Plasma enhanced CVD
講授、示範。
09
期中考
Midterm exam
(余昌峰老師)
真空技術
Vacuum Science and Technology
物理氣相沉積
Physival Vapor Deposition
化學氣相沉積
Chemical Vapor Deposition
講授、示範。
10
薄膜特性
Structure and Properies of Films
(余昌峰老師)
機械性質
Mechanical
講授、示範。
11
薄膜特性
Structure and Properies of Films
(余昌峰老師)
電性質
Electronic
講授、示範。
12
薄膜特性
Structure and Properies of Films
(余昌峰老師)
光性質
Optical
講授、示範。
13
原子力顯微技術簡介
Introduction to AFM
(陳思翰老師)
1.上課方式之講解(包含分組部分)
2.AFM工作原理之介紹
講授。
14
原子力顯微技術簡介
Introduction to AFM
(陳思翰老師)
1.相關應用講解
2.實機操作
講授、示範。
15
相關論文報告
thesis report
(陳思翰老師)
每位學生需閱讀一篇AFM領域之SCI文章,並上台報告至少20分鐘。討論、報告。
16
相關論文報告
thesis report
(陳思翰老師)
每位學生需閱讀一篇AFM領域之SCI文章,並上台報告至少20分鐘。討論、報告。
17
相關論文報告
thesis report
(陳思翰老師)
每位學生需閱讀一篇AFM領域之SCI文章,並上台報至少告20分鐘。討論、報告。
18
相關論文報告
thesis report
(陳思翰老師)
每位學生需閱讀一篇AFM領域之SCI文章,並上台報至少告20分鐘。討論、報告。
◎課程要求:
(Space)
◎成績考核
課堂參與討論50%
期中考25%
相關論文之閱讀及口頭報告 25%
◎參考書目與學習資源
自編講義
1.請尊重智慧財產權、使用正版教科書並禁止非法影印。
2.請重視性別平等教育之重要性,在各項學生集會場合、輔導及教學過程中,隨時向學生宣導正確的性別平 等觀念及尊重多元性別,並關心班上學生感情及生活事項,隨時予以適當的輔導,建立學生正確的性別平等意識。